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CMT-555定時器和CMT-74XX邏輯和替代金屬柵CMP工藝

發布時間:2022/1/28 18:51:30 訪問次數:687


當前cmp已經廣泛應用于集成電路制造中對各種材料的高精度拋光。按照被拋光的材料類型,具體可以劃分為三大類:襯底:主要是硅材料。

金屬:包括al/cu金屬互聯層,ta/ti/tin/tinxcy等擴散阻擋層、粘附層。介質:包括sio2/bpsg/psg等ild(層間介質),si3n4/sioxny等鈍化層、阻擋層。

其中,在90~65nm節點,淺槽隔離(sti)、絕緣膜、銅互連層是cmp的主要研磨對象;進入28nm后,邏輯器件的晶體管中引入高k金屬柵結構(hkmg),因而同時引入了兩個關鍵的平坦化應用,包括虛擬柵開口cmp工藝和替代金屬柵cmp工藝。

新高溫通用運算放大器cmt-opa,支持的溫度范圍在-55度~ +175度。cmt-opa采用塑料soic16w封裝,適合需要小型封裝的高溫市場應用如汽車、工業、石油或天然氣,和航空應用。

cmt-opa是一個具有90db增益以上的四運算放大器,以及當提供20v電壓時,其電流消耗僅為每通道575μa。

由于采用無閉鎖cmos工藝以及特別的設計和制造技術,cmt-opa在連續高溫達175度時可靠工作。它的工作電壓為4.5v~20v單電源或對稱雙電源。

cissoid先前已推出cmt-555定時器和cmt-74xx邏輯系列。cissoid在不久的將來將繼續推出更多cmt系列新產品。

簡單的理解,如果把芯片制造過程比作建造高層樓房,每搭建一層樓都需要讓樓層足夠平坦齊整,才能在其上方繼續搭建另一層,否則樓面就會高低不平,影響整體性能和可靠性。


集成電路制造是cmp設備應用的最主要的場景,重復使用在薄膜沉積后、光刻環節之前;除了集成電路制造,cmp設備還可以用于硅片制造環節與先進封裝領域。

cadence 公司的fpga system planner一個創新的解決方案,面向那些面臨將現今大量引腳數目、復雜的fpga整合到pcb設計流程挑戰的設計團隊,這正是我們的客戶期待從我們這里獲得的能夠縮短pcb上有大量引腳數目的fpga的設計周期并降低管理風險的那種技術、自動化和創新。


(素材來源:轉載自網絡,如涉版權請聯系刪除,特別感謝)


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金屬:包括al/cu金屬互聯層,ta/ti/tin/tinxcy等擴散阻擋層、粘附層。介質:包括sio2/bpsg/psg等ild(層間介質),si3n4/sioxny等鈍化層、阻擋層。

其中,在90~65nm節點,淺槽隔離(sti)、絕緣膜、銅互連層是cmp的主要研磨對象;進入28nm后,邏輯器件的晶體管中引入高k金屬柵結構(hkmg),因而同時引入了兩個關鍵的平坦化應用,包括虛擬柵開口cmp工藝和替代金屬柵cmp工藝。

新高溫通用運算放大器cmt-opa,支持的溫度范圍在-55度~ +175度。cmt-opa采用塑料soic16w封裝,適合需要小型封裝的高溫市場應用如汽車、工業、石油或天然氣,和航空應用。

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集成電路制造是cmp設備應用的最主要的場景,重復使用在薄膜沉積后、光刻環節之前;除了集成電路制造,cmp設備還可以用于硅片制造環節與先進封裝領域。

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