ADXL001-500BEZ加速度計采用全差分式傳感器結構和電路路徑， 對EMI/RFI干擾具有出色的抑制能力。 這是最新一代SOI MEMS器件，具有機械耦合但電氣隔離的 差分檢測單元。它通過單一檢驗質量塊產生全差分信號， 傳感器性能和尺寸得以改善。傳感器信號調理利用零力反 饋的電反饋來提高精度和穩定性。此力反饋抵消了傳感器 電路引起的靜電力。 圖19顯示其中一個差分傳感器單元模塊的簡化圖。每個傳 感器模塊均集成數個差分電容單元。每一單元都以器件層 上的固定板以及傳感器框架上的活動板組成。傳感器框架 移位將改變差分電容。片內電路測量電容變化。

機械傳感器

ADXL001-500BEZ采用ADI公司SOI MEMS傳感器工藝制造。SOI器 件層的傳感器經過微加工處理。溝道隔離用于對差分檢測 元件進行電氣隔離但機械耦合處理。單晶硅彈簧懸掛于晶 圓處理結構之上，提供加速度的力量阻力。

加速度敏感軸

ADXL001-500BEZ是一款x軸加速度和振動檢測器件，向引腳8標記 處振動時，產生趨正輸出電壓。

產品特性 高性能加速度計 提供±70 g、±250 g和±500 g量程范圍 22 kHz諧振頻率結構 高線性度：0.2%滿量程 低噪聲： 4 mg/√Hz 敏感軸與芯片平面平行 頻率響應低至DC 完全差分信號處理 抗EMI/RFI能力強 完整的機電自測功能 輸出為電源的比率 加速度輸入過載期間可保持速度 低功耗：2.5 mA(典型值) 8引腳密封陶瓷LCC封裝 應用 振動監控 沖擊檢測 運動診斷設備 醫療儀器 工業監控

ADXL001 iMEMS®加速計在性能與帶寬上顯著提高。這款器件非常適合需要寬帶寬、小尺寸、低功耗以及魯棒的振動與沖擊測量性能的機械安全與工業自動化應用。

利用ADXL001，系統工程師可以在3個動態范圍（±70g/ADXL001-70，±250g/ADXL001-250， ±500g/ADXL001-500）之間進行選擇，諧振頻率均為22kHz。加速計的輸出通道經過一個100kHz的雙極點貝塞爾濾波器，能夠完全發揮傳感器的機械性能。這款器件采用3.3 V或5 V電源供電，無需外部電荷泵電路。

ADXL001-500BEZ還擁有獨特的自診斷模式，在應用中可以檢驗設備是否正常工作。

ADXL001-500BEZ加速計采用工業標準的8引腳LCC封裝，可在擴展的工業溫度范圍（–40°C ～ +125°C）內工作。

應用

制造機械監控

沖擊檢測

振動檢測

優勢和特點

高性能加速計

寬檢測范圍：±70g，±250g，±500g

高線性度：0.2%滿量程

靈敏軸位于芯片平面內

全差分信號處理

抗電磁干擾（EMI）與射頻干擾（RFI）

完全的機電自檢

在不同的電源電壓下，輸出信號的比例系數不同

低功耗：3.5mA（典型值）

5mm LCC陶瓷封裝