一、新型slq-qt500液體流量傳感器產品描述

新型slq-qt500液體流量傳感器可測水基液體以及碳氫化合基液體，最大測量流量為120ml/min。這對于半導體行業中噴涂系統的合成以及其它行業中配量和流量應用的廣泛組合是非常理想的。

由于采用充分驗證的熱式微傳感器科技，slq-qt500開辟了在靈敏度，穩定性和速度新的高度。觸液材質為PFA配件及石英玻璃管。整個流路筆直且傳感器中沒有障礙物或移動部件。slq-qt500幾乎適合任何粘度的液體以及在其對石英玻璃管無磨損的含小顆粒的液體。

基于智能RS485數字接口的傳感器可長距離通訊，具有較大的總線容量。出色的敏感度和測量速度讓監督或控制快速配量操作成為可能。可通過自動配量檢測獲得流體瞬時流量以及總配量輸出。在校準H2O和異丙醇時可使用該傳感器。

二、新型slq-qt500液體流量傳感器特性

流量高達120毫升/分鐘（碳氫化合物和水基液體）

快速響應時間低至30毫秒

高低粘度液體用

具有小顆粒的液體用

RS485數字接口

直流路徑，無移動部件

保證純度

最高敏感度低至最低流量

超強耐化學性，惰性材料

觸液材質：只有PFA和石英玻璃

最大工作壓力10 bar

三、新型slq-qt500液體流量傳感器應用

高端半導體流程控制

工業自動化

快速配量操作