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目前,設備本地化配套率雖然不如材料那么高,但也開始出現了一些技術突破。國內企業和高校正積極提升顯示產業設備的本地化。據了解,廈門天馬與上海微電子裝備(集團)股份有限公司聯合開發出高分辨率TFT曝光機,標志著我國新型顯示行業的裝備本地化研制取得重大突破。上海大學與上海微電子裝備(集團)公司自2008年開始長期合作,成功研制開發了高分辨率平板顯示光刻機系列產品及成套先進工藝,使高世代顯示TFT基板的大面積工藝能力在平方米級維度上提升達到1.5微米的國際領先水平,打破了原先由日本企業壟斷并保持的世界紀錄,并實現量產應用。欣奕華總經理張彌透露,欣奕華蒸鍍設備核心部件蒸發源的驗證測試結果達到了業界先進水平,已具備開發量產用先進蒸鍍系統開發制造能力。
中國面板產能的不斷攀升更加凸顯本地化配套的薄弱。中國面板產業已經邁入新的階段,梁新清認為,應該對面板企業的任務進行重新定義,面板企業在做大自身的同時,也要兼顧本土化配套的發展,從而對電子信息基礎產業起拉動作用。
胡春明建議,《新型顯示產業超越發展三年行動計劃(2018—2020年)》應該對本土化配套提出明確的目標,例如,爭取用3年的時間培育出面板和上游材料/裝備的中國品牌,力爭本地化材料總體配套率達到80%以上,裝備用備品備件本地化配套率達到20%。
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