氣體流量傳感器ASF1400ASF 1400精度：0-5%FS（23°C）分辨率：0.1 Sccm（當流速是400sccm /640ms時） 0.0143（1/70）Sccm（當流速是10sccm /640ms時）最小感知流量：標準值為0.0143（1/70）Sccm；最大值為0.003 Sccm 壓力損耗：120Pa 重復性：0.0025%FS，0.025%m.v 資料手冊下載
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氣體流量傳感器em1em1精度：3.0%m.v（EM1NL）流量范圍：EM1NH 0-0.05 EM1NL 0-0.5 誤差：EM1NH〈0.5%FS EM1NL〈0.1%FS 測量氣體：N2 零刻度的溫度系數：0.01 %FS/°C 壓力系數：0.15%bar-0.01%psi 滿量程壓力損耗： 2/0.029 靈敏度校準：0.1%FS 資料手冊下載
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