製造商: Texas Instruments
產品類型: 電源開關IC - 配電類型: High Side
輸出數: 1 Output
輸出電流: 2 A
啟動電阻 - 最大值: 72 mOhms
工作電源電壓: 4.5 V to 5.5 V
電源電壓 - 最小值: 4.5 V
電源電壓 - 最大值: 5.5 V
最低工作溫度: - 40 C
最高工作溫度: + 85 C
安裝風格: SMD/SMT
封裝/外殼: VSSOP-8
系列: TPS2001C
封裝: Cut Tape
封裝: MouseReel
封裝: Reel
產品: USB Power Switches
品牌: Texas Instruments
濕度敏感: Yes
產品類型: Power Switch ICs - Power Distribution
原廠包裝數量: 2500
子類別: Switch ICs
每件重量: 30 mg
芯片制造的過程就如同用樂高蓋房子一樣,先有晶圓作為地基,再層層往上疊的芯片制造流程后,就可產出必要的 IC 芯片。然而,芯片制造并非像蓋房子那么容易,究竟芯片是如何制成的?制造芯片又需要經過哪些步驟?下面介紹IC芯片的具體制造流程。
層層堆疊打造的芯片
在介紹過硅晶圓是什么東西后,同時,也知道制造IC 芯片就像是用樂高積木蓋房子一樣,藉由一層又一層的堆疊,創造自己所期望的造型。然而,蓋房子有相當多的步驟,IC 制造也是一樣,制造IC 究竟有哪些步驟?本文將就IC 芯片制造的流程做介紹。
在開始前,我們要先認識IC 芯片是什么。IC,全名積體電路(Integrated Circuit),由它的命名可知它是將設計好的電路,以堆疊的方式組合起來。藉由這個方法,我們可以減少連接電路時所需耗費的面積。下圖為IC 電路的3D 圖,從圖中可以看出它的結構就像房子的樑和柱,一層一層堆疊,這也就是為何會將IC 制造比擬成蓋房子。
從上圖中IC 芯片的3D 剖面圖來看,底部深藍色的部分就是上一篇介紹的晶圓,從這張圖可以更明確的知道,晶圓基板在芯片中扮演的角色是何等重要。至于紅色以及土黃色的部分,則是于 IC 制作時要完成的地方。
首先,在這裡可以將紅色的部分比擬成高樓中的一樓大廳。一樓大廳,是一棟房子的門戶,出入都由這裡,在掌握交通下通常會有較多的機能性。因此,和其他樓層相比,在興建時會比較復雜,需要較多的步驟。在IC 電路中,這個大廳就是邏輯閘層,它是整顆IC 中最重要的部分,藉由將多種邏輯閘組合在一起,完成功能齊全的IC 芯片。
黃色的部分,則像是一般的樓層。和一樓相比,不會有太復雜的構造,而且每層樓在興建時也不會有太多變化。這一層的目的,是將紅色部分的邏輯閘相連在一起。之所以需要這么多層,是因為有太多線路要連結在一起,在單層無法容納所有的線路下,就要多疊幾層來達成這個目標了。在這之中,不同層的線路會上下相連以滿足接線的需求。
分層施工,逐層架構
知道IC 的構造后,接下來要介紹該如何制作。試想一下,如果要以油漆噴罐做精細作圖時,我們需先割出圖形的遮蓋板,蓋在紙上。接著再將油漆均勻地噴在紙上,待油漆乾后,再將遮板拿開。不斷的重復這個步驟后,便可完成整齊且復雜的圖形。制造IC 就是以類似的方式,藉由遮蓋的方式一層一層的堆疊起來。
制作 IC 時,可以簡單分成以上4 種步驟。雖然實際制造時,制造的步驟會有差異,使用的材料也有所不同,但是大體上皆采用類似的原理。這個流程和油漆作畫有些許不同,IC 制造是先涂料再加做遮蓋,油漆作畫則是先遮蓋再作畫。以下將介紹各流程。
金屬濺鍍:將欲使用的金屬材料均勻灑在晶圓片上,形成一薄膜。
涂布光阻:先將光阻材料放在晶圓片上,透過光罩(光罩原理留待下次說明),將光束打在不要的部分上,破壞光阻材料結構。接著,再以化學藥劑將被破壞的材料洗去。
蝕刻技術:將沒有受光阻保護的硅晶圓,以離子束蝕刻。
光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。
最后便會在一整片晶圓上完成很多IC 芯片,接下來只要將完成的方形IC 芯片剪下,便可送到封裝廠做封裝,至于封裝廠是什么東西?就要待之后再做說明。
TPS2001CDGKR ITTPIC7218QPFPRQ1 IT
TCA6416AZQSR IT
REG71050DRVR IT
MSP430F2003IPWR IT
TS3A24159YZPR IT
HVDA553QDRQ1 IT
TS2A116E03RUTR IT
TPS65197RUYR IT
TPS65149RSHR IT
TPS56428DDAR IT
TSC2006IRTJR IT
TS3DV520ERUAR IT
TPS56528DDAR IT
TLC372CPWR IT
LM4050BIM3-5.0/NOPB IT
SN75LVDS390PWR IT
ADS1292IPBSR IT
SN65LVCP15PWR IT
THS7373IPWR IT
TPS7A4501KTTR IT
TL16C550DPFBR IT
LM93CIMTX/NOPB IT
LM21305SQ/NOPB IT
TPS62063DSGR IT
CSD16322Q5C IT
TLV320AIC3105IRHBR IT
TPA3136D2PWPR IT
LM809M3X-2.93/NOPB IT
TPA6138A2PWR IT
AM3352BZCZA60 IT
SN65HVD3088EDR IT
DRV411AIPWPR IT
TWL1200IPFBRQ1 IT
TAS5754MDCAR IT
AM1808EZWTA3 IT
LP2996MX/NOPB IT
LMD18245T/NOPB IT
THS8136IPHP IT
CSD16322Q5C IT
REF3020AIDBZR IT
TLV62095RGTR IT
TPS25810RVCR IT
ADC122S051CIMMX/NOPB IT
TPS75801KTTR IT
LM2575SX-ADJ/NOPB IT
INA133U/2K5 IT
TPA3131D2RHBR IT
TPS61070DDCR IT
TPS92023DR IT
ADS8324E/2K5 IT
TPS2549IRTERQ1 IT
UCC27321DR IT
LM5025BMTCX/NOPB IT
TAS5760MDCAR IT
TMS320F28023PTT IT
DRV8824PWPR IT
REF3240AIDBVR IT
LMV842MAX/NOPB IT
INA827AIDGKR IT
TPS7A6150QKVURQ1 IT
LMZ10501SILR IT
TPA3250D2DDWR IT
LM2575SX-5.0/NOPB IT
TUSB320LAIRWBR IT
TMS320F28020PTT IT
TPS5403DR IT
AM3354BZCZD80 IT
TPS2069CDBVR IT
TPS54060DGQR IT
TPS22929DDBVR IT
CC1350F128RHBR IT
TLV61046DBVR IT
TPS40009DGQR IT
TPS62125DSGR IT
ADS1292RIPBSR IT
TPS61089RNRR IT
INA199A2DCKR IT
TPS54332DDAR IT
TPA3116D2DADR IT
DRV8800RTYR IT
TRS3221EIPWR IT
SN74CBTLV3257DR IT
THS4031IDR IT
TLV70430DBVR IT
TPS62007DGSR IT
LP2951DR IT
TPS2559DRCR IT
TLV70212DBVR IT
TMS320F28034PNT IT
TAS5760MDAPR IT
LM5122MHX/NOPB IT
TM4C1230D5PMIR IT
INA199A1DCKR IT
TPS73HD318PWPR IT
BQ24780SRUYR IT
BQ76200PWR IT
TLV431BQDBZR IT
TPS22902BYFPR IT
TLC5916IDR IT
LM3424QMHX/NOPB IT
OPT3006YMFR IT
DAC8830IDR IT
CC1190RGVR IT
TS3A24157RSER IT
TPS56221DQPR IT
SN74LVC8T245RHLR IT
ADS1244IDGSR IT
OPA725AIDR IT
TPS76801QDR IT
LP2980IM5-3.3/NOPB IT
DRV8836DSSR IT
TCA9543APWR IT
DAC7563SDGSR IT
TPA3137D2PWPR IT
LP5907SNX-1.8/NOPB IT
TLV431AQDBVRQ1 IT
BQ294706DSGR IT
TMS5701114CPGEQQ1 IT
TLC5958RTQR IT
TPS62085RLTR IT
TMS320F28234PTPQ IT
OPA4180IDR IT
TAS5538DGGR IT
MSP430G2553IRHB32R IT
TPS2829DBVR IT
TPS78633KTTR IT
LM3414MRX/NOPB IT
TPS61220DCKR IT
LP2985IM5X-2.5/NOPB IT
ISO7341CDWR IT
TPA2005D1DRBR IT
TPS54061QDRBRQ1 IT
DRV8837CDSGR IT