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隨著物聯網技術的推廣，氣體探測器的應用越來越普及，正慢慢向小型化、集成化、模塊化設計和智能化系統發展。其中，以氫氧化物半導體材料為基礎的符號敏感原料的ADS802U氣體探測器已廣泛應用于安全、自然環境、建筑控制等行業的可燃氣體檢測。
微機電系統技術的發展為氣體探測器的集成奠定了堅實的基礎。毫無疑問，基于微機電系統的設計將成為未來氣體探測器的關鍵發展前景之一。
目前，銷售市場上以光伏電池原料為基板，以非光伏材料為敏感層的MEMS氣體探測器較為常見。今天，我們將介紹銷售市場上常見的微機電系統氣體探測器。
MEMS氧化還原電位氣體傳感器的敏感原料是氫氧化物半導體材料或導電聚合物，應用最廣泛的氫氧化物半導體材料是二氧化錫，其次是二氧化鈦和活性氧化鋅。為了提高氣體傳感器的靈敏度和選擇性，通常在氫氧化物中加入金屬催化劑，如鉑、鈀和其他貴金屬或合適的氫氧化物。
當敏感原料暴露在被測蒸汽中時，蒸汽會與它們發生反應，導致電導率或電阻的變化。信號分析后，產生的電子信號將作為數據信號輸出，該數據信號可以識別蒸汽成分或蒸汽濃度值。
氫氧化物半導體材料制作的MEMS氣體傳感器，利用電子信息技術的破乳處理技術，在硅襯底上沉積一層相對敏感的氫氧化物，在相對敏感層下面使用電阻作為電加熱器，使用二極管作為測溫元件。必要的數據信號電源電路和讀取電源電路也可以集成在同一個硅集成電路上。
微機電系統微氣體探測器的加工工藝如下圖所示，其特點是依靠逐層沉積和積累加熱層、電纜護套和檢測層。
固體電解質溶液的氣體傳感器有兩種:電流型傳感器和工作電壓型傳感器。電流型傳感器靈敏度高，檢測范圍大，溫度漂移小。然而，其輸出電流和靈敏度可能與電氣水平規格密切相關。傳統的煅燒體元件很難操縱電級規格，因此輸出電流和靈敏度也很難操縱。微機電系統固體電解質溶液電流型氣體傳感器因其高精度電機規格而具有優異的特性。
目前，基于“三明治”結構的傳感器可以完成微機電系統加工技術的兼容和生產，解決傳統固體電解質溶液氣體探測器加工技術兼容方式差、組件結構復雜等問題。
(1)小型化:MEMS元器件體積小。一般單個MEMS傳感器的規格都是mm甚至微米，重量輕，能耗低。此外，小型化的機械部分具有慣性小、串聯諧振高、響應速度快的優點。微機電系統較高的表面體積比(面積體積比)可以提高#表面傳感器的靈敏度水平。
(2)硅基制造工藝可以兼容傳統IC生產工藝:硅的抗壓強度、強度和楊氏模量與鐵非常相似，相對密度與鋁相似，導熱系數接近鉬和鎢。此外，它可以在很大程度上與硅基制造工藝兼容。
(3)量產:以單個5mm×5mm的MEMS傳感器為例，采用硅微加工技術，在5.5英寸單晶硅片上激光切割約1000個MEMS集成IC，量產可以大大降低單個MEMS的產品成本。
(4)集成:一般來說，除了封裝機械設備電感，單珠MEMS還會繼續集成ASic集成ic，操作MEMS集成ic，將模擬輸入轉換為數據輸出。此外，不同的封裝工藝可以集成具有不同功能、不同敏感取向或致動取向的若干傳感器或電致動器，或者產生微傳感器陣列、微電致動器陣列，甚至集成具有各種功能的各種組件以產生復雜的微系統。
(5)多學科交叉:MEMS涉及電子器件、機械設備、原材料、制造、信息內容與自動控制系統、物理、有機化學、微生物學等多門課程。，并聚集了科技進步發展趨勢中的諸多頂尖成果。
