TPS560430XFDBVR_BLM21BD222SN1L導讀
隨著制程工藝的成熟與進步,以及市場需求的增加,越來越多的公司采用20nm以下的先進工藝設計、生產IC和器件,這使得越來越多的IDM和代工廠淘汰生產效率低下的晶圓廠。。
這種精確的高頻信號可為電子系統提供時鐘和計時參考。TI BAW振蕩器是一種電子振蕩器電路,它利用壓電效應,通過震動的微型聲波諧振器(BAW)的機械諧振產生穩定的電子信號。
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MAX3221CPWR 驅動IC
此外,Solis說,“使用BAW諧振器比使用石英晶體更準確。”石英晶體需要額外的元件來延長其精度 - 隨著時間的推移 - 其性能發生變化,超出了可控制的溫度變化,他補充說。
過去,BAW諧振器技術常被用于過濾諸如智能電話之類的通信技術中的信號。在業內,TI首次將這項技術用于集成時鐘功能。為了深入了解TI 這次在BAW技術上的新突破,我們要從BAW濾波器的原理說起:。
這使得TI能夠為嵌入式市場推出業界首款無晶體無線MCU,SimpleLink CC2652RB,其時鐘包含在同一芯片中。德州儀器公布了該公司所稱的“突破性”體聲波(BAW)諧振器技術。這些微型計時器尺寸僅有100微米,比頭發的直徑還小,但它們的運行頻率遠遠高于石英晶體,它可以將高精度和超低抖動時鐘直接集成到包含其他電路的封裝中,TI稱。
TPS22919DCKR CSD23381F4 CSD23280F3 LM76002RNPR LM76002RNPT 。
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SN74LVC1G3157DBVR
BQ24311DSGR TIC10024QDCPRQ1 TL331IDBVR TL331IDBVT TPS63070RNMT 。
為了把聲波留在壓電薄膜里震蕩,震蕩結構和外部環境之間必須有足夠的隔離才能得到小loss和大Q值。。聲波在固體里傳播速度為~5000m/s,也就是說固體的聲波阻抗大約為空氣的105倍,所以99.995%的聲波能量會在固體和空氣邊界處反射回來,跟原來的波(incident wave)一起形成駐波。而震蕩結構的另一面,壓電材料的聲波阻抗和其他襯底(比如Si)的差別不大,所以不能把壓電層直接deposit(沉積)在Si襯底上。
TPS560430XFDBVR XTR117AIDGKR CSD15380F3T MSP-EXP432P401R TPS2051BDBVR 。
這種結構整體效果相當于和空氣接觸,大部分聲波被反射回來,這種結構稱為BAW-SMR(Solidly Mounted Resonator),如下圖。有一種方法是在震蕩結構下方形成Bragg reflector,把聲波反射到壓電層里面。Reflector由好幾層高低交替阻抗層組成,比如第一層的聲波阻抗大,第二層的聲波阻抗小,第三層聲波阻抗大,而且每層的厚度是聲波的λ/4,這樣大部分波會反射回來和原來的波疊加。
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Airgap type在制作壓電層之前沉積一個輔助層(sacrificial support layer),最后再把輔助層去掉,在震蕩結構下方形成air gap。 因為只是邊緣部分跟底下substrate接觸,這種結構在受到壓力時相對脆弱,而且跟membrane type類似,散熱問題同樣需要關注。
也有不同結構,聲波以橫波(transverse)形式傳播。之前提到的BAW- SMR和FBAR?filter圖中,聲波都以縱波(longitudinal)形式傳播,即粒子震動方向和波的傳播方向是平行的。