AD1583ARTZ-REEL7_AD1988XCPZ導讀
此外，瑞薩還將位于日本滋賀縣大津的工廠調整為生產光電器件。以瑞薩為例，該公司較近關閉的兩座晶圓廠都是150mm的，包括位于日本高知縣的一家工廠，該工廠主要生產模擬、邏輯器件以及一些型號陳舊的微型元器件。據悉，瑞薩預計將會在2020年或2021年再關閉兩座150mm晶圓廠。而從地區來看，日本關閉的晶圓廠數量較多。
。據IC Insights統計，在過去的10年中(2009-2018年)，全11球半導體制造商總共關閉或重建了97座晶圓廠。具體如下圖所示。其中，關閉了42座150mm晶圓廠和24座200mm晶圓廠，而關閉的300mm晶圓廠數量僅占關閉總數的10%。
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工作原理如下圖。典型的基本結構如上圖(a)，上下金屬電極中間夾著壓電層，對應的mBVD等效電路如上圖(b)，對應的阻抗如上圖(c)，可以看出有兩個resonance頻率，串聯(fs)和并聯(fp)。
BAW filter更適合于2.5GHz以上的頻率，BAW filter的制造工藝也非常符合現有的IC制造工藝，適合和其他的active電路做整體的integration。。
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