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半導體襯底和外延有什么區別

發布時間:2024/7/15 11:37:00 訪問次數:81 發布企業:深圳市九黎科技有限公司

硅外延層和襯底是半導體制造過程中的兩個重要組成部分。襯底是半導體芯片制造的基礎,主要由單晶硅材料制成。硅外延層是在襯底上加工生長的一層硅材料,其材料特性與襯底相同。二者在成份、結構和性質上都有所不同。

襯底Substrate襯底,作為半導體單晶材料制成的晶圓片,它既可以直接進入晶圓制造流程,用于生產半導體器件;也可通過外延工藝加工,產出外延片。半導體襯底就像一塊“地基”,它支撐著整個半導體結構,確保它不會破裂或損壞。同時,襯底本身也具備一些特殊的電學、光學和機械特性,這些特性對于半導體的性能至關重要。

如果把集成電路比作建筑高樓大廈,那么襯底無疑是那穩固的地基。為確保其支撐作用的發揮,這些材料在晶體結構上必須展現出高度的一致性,如同高純度的單晶硅,其純凈與完美是構建堅固地基的基石。只有當地基堅實可靠,才能確保上方建筑的穩固與完美。簡單來說,沒有合適的襯底,我們就無法構建出穩定且性能良好的半導體器件。

外延Epitaxy外延,是指在經過精心切磨拋光的單晶襯底上,精準生長一層全新單晶的過程。這層新單晶既可與襯底材質相同(同質外延),也可不同(異質外延)。由于新生單晶層嚴格遵循襯底晶相延伸生長,因此被稱為外延層,其厚度通常控制在幾微米級別。以硅為例,外延生長即在特定晶向的硅單晶襯底上,形成一層晶向一致、電阻率和厚度各異、晶格結構完整的新晶體。經過外延生長的襯底則被稱為外延片,其核心價值在于外延層,而器件制作正是圍繞這一層展開。

外延片的價值體現在其巧妙的材料組合上。例如,通過在成本較低的硅片上生長一層薄薄的GaN外延,便能以相對低廉的第一代半導體材料為襯底,部分實現昂貴且性能卓越的第三代半導體寬禁帶特性,實現高性價比。然而,異質外延結構也伴隨著一系列挑戰,如晶格失配、溫度系數不一致及熱傳導不良等問題,如同將腳手架搭建在塑料地基上,不同材質在溫度變化時會產生膨脹收縮差異,且硅的導熱性能并不理想。

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總結

在現代電子、光電子、微電子和信息技術領域,半導體襯底和外延技術都發揮著不可或缺的作用。它們為制造高性能、高可靠性的半導體器件提供了堅實的基礎。隨著科技的不斷發展,半導體襯底和外延技術也將不斷進步,為未來的半導體產業帶來新的突破和發展。

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