儀器設計有兩套測量系統對上工作臺移動過程申在水平面內的平移和轉角進行測量并進行校正， F75111RG以補償阿貝誤差。

   上工作臺運動中水平面內的平移測量及校正原理如圖2 -28所示。在儀器底座的左側安置有瞄準影像投影器。6V 5W的光源l照明細絲分劃板2，并通過長焦距透鏡組3，經固定在上工作臺上的五角棱鏡4和直角棱鏡5組合體轉向，把細絲影像投射到瞄準光電顯微鏡的狹縫6平面上。光電顯微鏡裝在固定于底座上的支架中。因此，當上工作臺在移動過程中發生平移時，五角棱鏡和直角棱鏡跟著一起平移，使得細絲影像在狹縫平面上的位置有所改變，破壞了原來的瞄準狀態，引出一個電壓輸出量。此電壓施加在兩個壓電陶瓷9上，使上工作臺產生平移，直到光電顯微鏡輸出為零為止。由圖2 -28可見，當工作臺平移距離口時，由于直角棱鏡的又一次反射，使兩次轉向后的光軸偏離原光軸距離為20，故放大了一倍。

   上工作臺運動中水平面內的扭擺（轉角）測量及校正原理如圖2 - 29所示。這里采用了激光小角度測量法。在上工作臺的左部裝了一對角耦棱鏡。若上工作臺移動過程中產生轉動，角耦棱鏡3相對于角耦棱鏡8所對應的程差將有增大或縮短。這樣，根據測得

的偏差值的正負方向，通過電子線路，使壓電陶瓷5作相應的伸長或縮短，以補償上工作臺在運動中產生的在水平面內的扭擺（轉角）。