膜濕法刻蝕
發布時間:2015/11/2 20:42:14 訪問次數:768
膜濕法刻蝕 對于鋁和鋁合金層有選擇性的刻蝕溶液是基于磷酸的。遺憾的是，EL1508CS鋁與磷酸反應的副產物是微小的氫氣泡（見圖9. 18）。這些氣泡附著在晶圓表面，并阻礙刻蝕反應。結果既可能產生導致相鄰引線短路的鋁橋連，又可能在表面形成不希望出現的稱為雪球( snowball)的鋁點。
特殊配方鋁刻蝕溶液的使用緩解廠這個問題（含有磷酸，、硝
酸、醋酸、水和濕化劑）。典型的活性溶液成分（濕化劑較少）配比是16：1：1：2。
除了特殊配方外，典型的鋁刻蝕工藝還會包含以攪拌或上下
移動晶圓舟的攪動。有時超聲波或兆頻超聲波也用來去除氣泡。 圖9.18氫氣泡阻擋刻蝕劑
膜濕法刻蝕 對于鋁和鋁合金層有選擇性的刻蝕溶液是基于磷酸的。遺憾的是，EL1508CS鋁與磷酸反應的副產物是微小的氫氣泡（見圖9. 18）。這些氣泡附著在晶圓表面，并阻礙刻蝕反應。結果既可能產生導致相鄰引線短路的鋁橋連，又可能在表面形成不希望出現的稱為雪球( snowball)的鋁點。
特殊配方鋁刻蝕溶液的使用緩解廠這個問題（含有磷酸，、硝
酸、醋酸、水和濕化劑）。典型的活性溶液成分（濕化劑較少）配比是16：1：1：2。
除了特殊配方外，典型的鋁刻蝕工藝還會包含以攪拌或上下
移動晶圓舟的攪動。有時超聲波或兆頻超聲波也用來去除氣泡。 圖9.18氫氣泡阻擋刻蝕劑
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