離化反應室
發布時間:2015/11/5 18:33:49 訪問次數:475
“離子注入”這個名字就暗示了離子是該工藝的一部分。回顧一下， AD688AQ離子就是帶正電荷或負電荷的原子或分子。被注入的離子是摻雜物原子離化產生的。離化過程發生在通有源蒸氣的離化反應腔中。該反應腔保持約10。3托的低壓（真空）。反應腔內部燈絲加熱到其表面可以發射電子的溫度。帶負電的電子被反應腔中的陽極所吸引。電子從燈絲運動到陽極的過程中與雜質源分子碰撞，產生大量該分子所含元素形成的正離子．BF，源離化的結果如圖11. 22所示。
另一種離化方法采用冷陰極技術產生電子，陰極和陽極間加高壓電場，以自維持工藝產生電子。
“離子注入”這個名字就暗示了離子是該工藝的一部分。回顧一下， AD688AQ離子就是帶正電荷或負電荷的原子或分子。被注入的離子是摻雜物原子離化產生的。離化過程發生在通有源蒸氣的離化反應腔中。該反應腔保持約10。3托的低壓（真空）。反應腔內部燈絲加熱到其表面可以發射電子的溫度。帶負電的電子被反應腔中的陽極所吸引。電子從燈絲運動到陽極的過程中與雜質源分子碰撞，產生大量該分子所含元素形成的正離子．BF，源離化的結果如圖11. 22所示。
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