光電檢測技術的發展與新型光源、新型光電器件、微電子技術、計算機EP1C4F400C7N技術的發展密不可分，自從1960年世界上第一臺紅寶石激光器與氦一氖激光器問世以來，由于激光光源的單色性、方向性、相干性和穩定性極好，人們在很短時間內就研制出各種激光干涉儀、激光測距儀、激光準直儀、激光跟蹤儀和激光雷達等，大大推動了光電測試技術的發展。

   1970年貝爾實驗室研制出第一個固體攝像器件(CCD)，由于它的小巧、堅固、低功耗、失真小、工作電壓低，重量輕、抗振性好、動態范圍大和光譜范圍寬等特點，使得視覺檢測進入一個新的階段，它不僅可以完成人的視覺觸及區域的圖像測量，而且對于人眼無法涉及的紅外和紫外波段的圖像測量也變成了現實，從而把光學測量的主觀性（靠人眼瞄準與測量）發展成客觀的光電圖像測量。

   光導纖維自從20世紀60年代問世以來，在傳遞圖像和檢測技術方面又發展出一個新的天地，光纖通信已經風靡全球，而光纖傳感幾乎可以測量各種物理量，尤其在一些強電磁干擾、危及人生命安全的場合可以安全地工作，而且具有高精度、高逮度、非接觸測量等特點。可以說一個新的光源、一個新的光電器件的發明都大大推動了光電檢測技術的發展。

   近十幾年來工程領域的加工精度已達到0.1斗m，甚至0. 01 ym的水平。它對測量技術提出了更高的要求，迫切需要開拓新的測量手段，因此先后出現了各種納米測量顯微鏡，如隧道顯微鏡的問世、原子顯微鏡的研制成功。為了準確測出這些納米尺度測量顯微鏡的精度，還必須溯源到光的波長上，因此，迫切需要研制精度達到納米和亞納米級的干涉儀來實現納米尺度的測量和標定，因而，又相繼出現了精度可達到0. Inm的激光外差干涉儀和精度可達0.01nm的X光干涉儀。

   微電子技術的問世，不僅使計算機技術突飛猛進，也使光電檢測技術有了更為廣闊的應用空間。當前人們在生物、醫學、航天、靈巧武器、數字通信等許多領域越來越多地要求微系統，因此微機電系統成為當前研究的一個熱點。而微機電系統要求有微型測量裝置，這樣，微型光、機、電檢測系統也就毫無疑問地成為重要研究方向。