輪廓儀不僅要能測量試件的表面粗糙度，還要能精確測量并顯示被測輪廓的形狀，否則AAT3242ITP-TG-T1它就僅是粗糙度檢測儀。形狀誤差是輪廓測量精度的主要指標。如圖11.14 (a)所示的輪廓，用“雙焦點”裝置測得的輪廓曲線如圖11.14 (b)所示，該輪廓曲線顯然已“面目全非”。可見參考光斑的大小直接影響到輪廓的形狀誤差。根據干涉圖樣光強變化的分析，FA是形狀誤差；蜀是參考光斑在理想光滑表面的千涉圖樣光強度，三1是干涉圖樣在圖11.15所示特定輪廓表面光強度的損失。FA計算與輪廓不平度間距S有聯系，當參考光斑的直徑D= 0.1～1 mm，輪廓的不平度間距S約為D/20時，FA=17%;當S<D/20時，其影響線性減少。可見，同軸干涉式輪廓儀參考光斑的大小影響測量形狀誤差的大小。