參考光斑對形狀誤差的影響
發布時間:2016/2/17 20:30:39 訪問次數:448
圖11.16所示為參考光斑對形狀誤差的影響圖。用以玻璃為基底、上面有一系列鍍鉻線紋，AAT3242ITP-TN-T1且整個表面覆蓋鍍金的標準校對樣塊做被測物件，線紋的輪廓為矩形，寬約15 hLm，高約70 IJm，線間距約為25 pLm。當輪廓儀的參考光斑直徑為50 Um左右，測量光斑直徑為1 um時，測量結果如圖11.16 (a)所示，顯然存在很大的形狀誤差；當參考光斑直徑增大到150 htm時，如圖11.16 (b)所示，測量結果與真實輪廓逼近。
圖11.16參考光斑對形狀誤差的影響
圖11.16所示為參考光斑對形狀誤差的影響圖。用以玻璃為基底、上面有一系列鍍鉻線紋，AAT3242ITP-TN-T1且整個表面覆蓋鍍金的標準校對樣塊做被測物件，線紋的輪廓為矩形，寬約15 hLm，高約70 IJm，線間距約為25 pLm。當輪廓儀的參考光斑直徑為50 Um左右，測量光斑直徑為1 um時，測量結果如圖11.16 (a)所示，顯然存在很大的形狀誤差；當參考光斑直徑增大到150 htm時，如圖11.16 (b)所示，測量結果與真實輪廓逼近。
圖11.16參考光斑對形狀誤差的影響
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