在低真空(0.1~0.01乇①)狀態下,在陽極與陰極兩個電極之間加上幾百伏至上千伏的直流電壓時,OMAPL138BZWTD4電極之間會產生輝光放電。在放電的過程中,氣體分子被電離成帶正電的陽離子和帶負電的電子,在電場的作用下,陽離子被加速跑向陰極,而電子被加速跑向陽極。如果陰極用金屬作為電極(常稱靶極),那么在陽離子沖擊其表面時,就會將其表面的金屬粒子打出,這種現象稱為濺射。

   此時被濺射的金屬粒子是中性,即不受電場的作用,而靠重力作用下落。如果將樣品置于下面,被濺射的金屬粒子就會落到樣品表面,形成一層金屬膜,用這種方法給樣品表面鍍膜,稱為離子濺射鍍膜法。

   特點:

   (1)低電壓冷濺射。

   (2)全自動操作,可控制獨立的真空泵。

   (3)可預設沉積厚度,均勻厚度沉積,全自動控制,膜厚度重復性好。