靜電(static electricity)定義為材料表面的電子不平衡導致的帶電電荷。這種不K4D261638F-TC36平衡產生的電荷可以產生電場并且可以影響一定距離之外的物體。靜電放電(Elcctro~staticⅡschargc,ESD)定義為兩個具有不同電勢的物體之間的電荷轉移。靜電放電可以改變半導體器件的電學特性,降低其性能或者破壞器件。靜電放電還有可能阻礙電子系統的正常工作,導致設備故障。帶有靜電的表面會吸引小的污染物,導致材料維護困難。當在硅晶的表面或電路的表面存在靜電時,會吸附空氣中的飄浮物,導致隨機的晶面缺陷和降低產量。要控制靜電放電對器件的損壞,首先要明確靜電是如何產生的。靜電一般通過兩種材料的接觸和分離產生。例如,一個人走過地毯會產生靜電電荷,因為他的鞋底接觸了地毯表面然后分離。電子器件在裝進或拿出包里時,也會產生靜電電荷,因為器件的外殼或引腳與容器的表面發生了接觸和分離。盡管帶靜電的強度難以計算,但一定是產生了靜電。這種通過接觸和分離產生靜電的方式稱為摩擦起電。摩擦過程中兩物體得電荷還是失電荷取決于物體本身的材料電學特性。但是我們一般在表示靜電帶電量時,一股用靜電勢表示,也就是電壓。材料接觸分離帶電的實際過程比上述描述要更復雜。摩擦帶電的靜電電荷量與接觸的面積、分離的速度、空氣相對濕度和材料的化學性質等很多因素有關。靜電電荷可能會從原表面轉移,形成EsD。其他的因素,如放電電路的阻抗,接觸表面的接觸電阻都會影響到放電的電荷量大小。