oLED顯示器件的制備不管是實驗室、中試,還是量產,其制各過程基本一致,主要E2009T區別在于器件的真空蒸鍍設各上。實驗室多選用手動的真空蒸鍍設各進行單片樣品蒸鍍,以便于制作種類不同的實驗樣品;為了便于小批量產品的切換,中試線一般采用半自動的真空蒸鍍設備進行連續的多片樣品蒸鍍;量產線一般采用全自動的真空蒸鍍設備進行流水樣品蒸鍍(或采用線蒸鍍技術與工藝),以提高良品率、降低產品成本。在量產線上用旋涂技術工藝進行生產OLED產品也在研究嘗試中。

   oLED顯示器件的制備工藝包括:ITO玻璃清洗艸光刻一再清洗→前處理→真空蒸鍍有機層-真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護層一封裝→切割一測試→模塊組裝→產品檢驗及老化實驗等十幾道工序,其幾個關鍵工序的工藝如下。