采用真空蒸鍍工藝淀積薄膜,應從薄膜特性、襯底情況、設備條件這三個方面人手來確定具體工藝參數和工藝方法。

  薄膜特性是了解所淀積薄膜的材料特性,主要有薄膜材料成分,各種成分的熔點、沸點、 OPA2134UA/2K5分解溫度、平衡蒸氣壓溫度曲線(見圖⒏8)、相圖等。以此來確定蒸發方法和溫度。

  對于單質材料,由平衡蒸氣壓溫度曲線就能確定源大致的蒸發溫度。

  對于多組分材料,應先確定蒸發方法,然后,再確定蒸發溫度。如圖815所示是多組分蒸發主要的三種方法:單源蒸發、多源同時蒸發和多源順次蒸發。如果源材料各組分的平衡蒸氣壓接近,采用單源蒸發方法,取各組分的規定蒸發溫度的平均值作為試蒸發溫度,再由實驗確定蒸發溫度。

  還是以TiW為例,用兩個坩堝,一個放人W,另一個放入⒎,在不同的溫度下蒸發。雖然對于單源蒸發而言,這是一個重大改進,但為使W和Tl有相同的淀積速率,兩個坩堝的蒸發溫度的確定和蒸發溫度的控制都必須極為精準,這是多源同時蒸發方法的難題所在。通常是基于蒸發速率公式來確定a、W的試蒸發溫度的,在進行了實驗調整之后才能最終確定蒸發溫度。

  多源順次蒸發是多源同時蒸發的一種替代方法。可以在多源系統中用打開與關斷擋板的方法來實現多種成分的順次交替淀積,淀積完成后.高溫退火讓各組分互相擴散,從而形成合金。這種方法要求襯底必須能承受退火溫度。