如8.2.1節所述,基于基本原理所建立的等離子刻蝕建模涉及高頻、高強度電場內的連續性、 VP101X12BQC-2動量平衡和能量平衡等方程。對一個特定反應器的實際模擬,所需要的求解時問在數量級L是一個單獨的操作條件大約半個小時,這對于可能需要實時反饋的I藝控制來說速度慢得無法接受。此外,缺乏對日標材料和刻蝕氣體復雜相互作用的基本了解,往往會誤導 模擬結果。另一方面,雖然經驗模型純粹地依賴于實驗數據,缺乏深刻的理解,并被限制在其可用的數據范圍內,但可能更容易接收用在實際制造中。所以在這兩方面做一下折中是必要的。

   經驗模型,也被稱作黑箱模型,在很大程度上忽視基本的物理過程,僅從實際過程行為的角度來將問題參數化。利用測量過程的輸入和輸出,來確定一個輸出到輸人的數學模型。參數的估算被分為線性和非線性部分,二者都是很廣泛的研究課題。一個簡要的總結列于表8.1中。()LS是最簡單且被最廣泛使用的,它假設輸人沒有干擾,如果違背了這一條,模型的預測可能變差。R1冫S防止了OI'S的共線性問題,但仍假定無干擾輸入。PCR第一個采用了主成分分析法(PCA)消除F共線性,在正交的主成分得分與負載中獲取數據,提取出的主成分可能會出現在與輸出空間不一致的子空間中,最終結束在一個不準確的模型預期L。PI'S用改變輸人變量,使其與輸出空問關聯的方法克服了這一缺點。CR方法可以用到OLWPCR/PI'S中去,常常可以改善模型的精度。所有⒈述的線性方法只能在一個狹窄范圍內得到所需的性能。像干法刻蝕這樣本身高度復雜的工藝過程的驗證,必須依靠非線性方法,神經網絡[盯(NN)已經顯示出在這一領域具有卓越的能力。