掃描聲學顯微鏡:叉稱超聲波掃描顯微鏡,是利用超聲波脈沖探測樣品內部空隙等缺陷的儀器。 SSL2101T超聲波在介質中傳輸時,若遇到不同密度或彈性數的物質,會產生反射回波,而此種反射回波強度會因材料密度不同而有所差異。掃描聲學顯微鏡(SAM)利用此特性,工作時,由電子開關控制的能在發射方式和接收方式之間交替換的超聲傳感器發出一定頻率(1~500MHz)的超聲波,經過聲學透鏡聚焦,由耦合介質傳到樣品上。聲波脈沖透射進入樣品內部并被樣品內的某個接口反射形成回波,其往返的時間由接口到傳感器的距離決定,回波由示波器顯示,其顯示的波形是樣品不同接口的反射強度與時問的關系。在 SAM的圖像中,與背景相比的襯度變化構成了重要的信息,在有空洞、裂縫、不良粘接和分層剝離的位置產生了高的襯度,因而容易從背景中區分出來。襯度的高度表現為回波脈沖的正負極性,其大小由組成接口的兩種材料的聲學阻抗系數決定,回波的極性和強度構成一幅能反映接口狀態缺陷的超聲圖像。