除了與人射能量有關外, T048-2DCR還與二次電子束與試樣表面法向夾角有關,三者之間滿足以下關系。可見,人射電子束與試樣夾角越大,二次電子產額也越大。這是因為隨汐角的增加人射電子束在樣品表層范圍內運動的總軌跡增長,引起價電子電離的機會增多,

產生二次電子數量就增加;其次是隨著汐角增大,入射電子束作用體積更靠近表面層,作用體積內產生的大量自由電子離開表層的機會增多,從而二次電子的產額增大。

   二次電子像襯度:電子像的明暗程度取決于電子束的強弱,當兩個區域中的電子強度不同時將出現圖像的明暗差異,這種差異就是襯度c影響二次電子像襯度的因素較多,主要有表面凹凸引起的形貌襯度(質量襯度).樣品表面電位差引起的電壓襯度(VC),原子序數/不同材料差別引起的成分襯度。通常.二次電子對原子序數的變化不敏感。

   背散射電子:被固體樣品原子反彈回來的一部分人射電子,它來自樣品表層幾百納米的深度范圍,其能量大大高于二次電子能量,所以背散射電子圖像的空間分辨率比二次電子信號差。背散射電子包括彈性背散射電子和非彈性背散射電子,彈性背散射電子是指被樣品中原子核反彈回來的,散射角大于90°的那些入射電子,其能量基本上沒有變化(能量為數千到數萬電子伏),彈性背散射電子能量近似于入射電子能量;非彈性背散射電子是人射電子和核外電子撞產生的,不僅能量變化,而且方向也發生變化,非彈性背散射電

子的能量范圍很寬,從數十電子伏到數千電子伏。從數量上看,彈性背散射電子遠比非彈性背散射電子所占的份額多。對平整的樣品表面,背散射電子產額隨原子序數的增加麗增加,不僅能用作形貌分析,也可用來顯示原子序數襯度。人射電子束與固體樣品作用產生物理信號的能量和數目如圖14.24所示。