FIB的原理與SEM相似,主要差別在于FIB使用離子束作為人射源,ΠB的外加電場作用于液態金屬離子源, SD6271使液態金屬或合金形成細小尖端,再加L負電場牽引尖端的技術或合金,導出離子束,通過靜電透鏡聚焦,經過一連串可變化孔徑改變離子束大小,然后用質量分析器篩選出所要的離子種類,最后通過八極偏轉裝置及物鏡將離子束聚焦在樣品卜許捫 描.離子束轟擊樣品,產生二次電子和離子被收集作為影像的來源,或用物理碰撞來實現切割汀。而離子束比電子具有更大的電量及質量,當其人射到固態樣品卜時會造成一連串的撞擊及能量傳遞,且在樣品表面發牛氣化、離f化等現象,并濺出巾性原f、離子、及電磁波刊攵集離子束轟擊樣″:產生的二次電子和△次離f.獲得聚焦離f束眼微圖像，HB系統亦可視為利用靜電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器.離f束噴濺LJ有機氣體協作則可完成導體沉積。雙束「IB系統,在以離子束切割時.用電了束觀察影像,除r可避免離f束繼續Ⅱ破壞現場”外,尚可有效地提高影像分辨率。商川場發射雙束聚焦離F束系統.如Dual bcam833.其掃捕電鏡分辨率可達sFm。同時也叮配備、光能譜分析儀或(I工次離子質譜儀),作尢素分析之用,多樣化的分析功能使得聚焦離子束私微鏡的便利性及使用率大幅捉升。