電子槍發射電子,經過聚焦后轟擊在樣品表面,激發出二次電子。二次電子的信號強度隨樣品表面特征而變,掃描系統在控制電子束掃描樣品表面的同時,控制顯示器的陰極射線管電子束在熒光屏上作同步掃描。SA5532AD二次電子的信號經檢測放大后作為調制信號,同步調制陰極射線管的電子束強度,在熒光屏上獲得能反映樣品表面特征的掃描圖像。

    sEM構造

   掃描電子顯微鏡由電子光學系統,掃描系統,信號檢測放大系統,圖像顯示和記錄系統,電源系統和真空系統等部分組成。

   電子光學系統:由電子槍,電磁聚光鏡,光闌.樣品室等部件組成。它的功能是獲得掃描電子束,作為使樣品產生各種物理信號的激發源c為了獲得較高的信號強度和掃描像(尤其是工次電子像)分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。場發射電子槍可提供最小的電子源直徑(約5nm)和最高的亮度(lO8~l09A/cm2・sr),是高分辨率掃描電鏡的理想電子源。用二次電子成像時,掃描電鏡所能達到的分辨率極限就是樣品表面束斑的直徑。電磁聚光鏡把電子槍發射的電子束進一步縮小,可以實現更高的分辨率,已經可以達到1A。