Random缺陷往往和設備相關,一般對成熟I藝其D0在一個比較穩定的程度,產品之間的差異相對較小。 S1T8528X01-Q0R0

   systematic缺陷往往發生在制程結構發生變化的時候,或者舊的制程結構已經接近極限,或者新的制程結構還不成熟。其失效有很強的條件相關性.即在某種條件下一定發生或者高概率發牛,常有很強的版圖特征相關性,可能出現產品關聯性(pr°duct specific)c制程不成熟導致的系統性失效如圖17,15所示。

   圖17.13 制程不成熟導致的 (Inline deft,ct inspection)或機臺共通性(tool commonality)系統性失效   分析查找。

   如圖17.16所示.通過binn1ap和inline defect maI)的比較,可以找出缺陷在丁藝上的來源。而to()l comn1onality分析呵以找出問題設備(tr。ubleool),進而加以改善。