由于在先進制程,光罩費用昂貴,一套光SCA100T-D01罩成本可能高達數百萬美元,所以每個shortprocess loop都使用單獨一套光罩是不經濟的,通常對yield learning vehiclc的要求是一套光罩,必須能兼容各I藝段shord∞p試驗的設計t采用Mcmory(SRAM或者DRAM)產品作為yield lcarning vehicle的好處,是較一般的邏輯產品而言,Mcmory的密度高.對于隨機缺陷的捕獲能力強,另外陣列化/地址化的布局,失效可實現晶體管級的定位・易于失效分析(EFA、PFA),快速找到失效機制。

   但是進人納米時代后,Memory作為yiCld learning vehicle的缺點也日益凸現。首先是對于設計和I藝交互的(版圖相關性的)systcmatic失效,難以捕捉;其次對于parametric失效,缺乏有效追溯手段;最后,必須完成所有△藝,流片時間太長。