把一組w盯cr的數據按wafer,用成行、列的wafer map表示出來,這種方法就是wafermap gallery。 TC4S66F利用wafer map的顏色可以直觀地表現所描述屬性的大小、類別。透過wafcrmap ga11ery可以快速定位異常wafer以及了解所觀測屬性在wafer上的主要簾問分布特征。

   Stack map(∞mposite map)是把wafer map進行疊圖,在疊圖之后.一些較弱、較不明顯的空問分布特征往往得到強化。

   圖17.29左圖是一個lot的binmap gallery,由此很容易發現艸9有明顯的異常。當對 binmap進行疊圖之后,可以非常清晰地看到這個lot有明顯的reticle需要對mask及litho的相關I藝進行檢查,查找問題根源。如果只對者single wafer進行檢奄,很難發現類似問題。