一般工藝線卜采用trend chart.b°xplot等方式對于兩組樣本數據進行直觀的比較。TC1047AVNBTR不過由于異常點等噪聲十擾T程人員的判斷,有時惠接從圖表上看不出明顯的區別。此時,借助T test這種簡單的統計方法,可以幫助T程人員進行判斷。

   如圖17.38所示.直接從trend cl)ar1上,很難看出wafer的center和cdge的Rsl×別是否帚著。不過從孓1est結果,夕=0.O1<0.05(在很多△程領域夕<0.0弓作為顯薺性的標志),意味著從統計L講,它們的差別是顯著的。

   在T―test分析時,需要驗證・些假設,如數據樣本之間的獨立性和數據分布的正態性竿:這里不進行深人討論,關于T―tcs1分析的原理有興趣的瀆者請參閱相關統計書籍,使用請參閱cxcd幫助文檔T test函數部分。需要意的是,統計意義的顯著性和I程意義的顯著性的區別。例如,I程分析人員發現,花費額外1㈠○0美元/wafer的制程改善,確實能改善0.01%的yield。這0.01%的改善也許從統計意義L是混著的,不過從T程意義上講完仝不值得為此做這么昂貴的投人。