時序圖是一種用于描述集束型裝備的加工模塊和機械手使用情況的甘特圖。時序圖R060047300內在思想簡單,即以圖示的方式通過活動列表和時間刻度,形象地表示任何特定項目的活動順序與持續時間。時序圖基本是一條線條圖,橫軸表示時間,縱軸表示活動(項目),線條表示在整個期間上計劃和實際的活動完成情況。  

   早期有關集束型裝各的研究主要是生產率的問題。研究中都假設作業時間是確定 的并且沒有滯留時間約束。大部分情況下,集束型裝備處于穩定狀態,周期性進行生產,穩定狀態下的生產率取決于加工節拍。本章參考文獻[10,11]的研究成果具有代表性,研究中采用時序圖建模,并且推導串一并、混合晶圓流模式、重入晶圓流模式的吞吐量理論模型。

   本章參考文獻開發一個仿真模型,驗證本章參考文獻[10,11]推導的系統最大吞吐量理論模型。本章參考文獻[10]提出的理論模型都是針對單臂集束型裝備。本章參考文獻[11]提出雙臂機械手集束型裝備的理論模型,推導出雙臂機械手集束型裝各穩態時的基本周期,并進一步對單臂與雙臂機械手集束型裝備的性能做比較。研究結果表明雙臂機械手能夠提高生產率,交換策略是一個有效的調度策略。以上推導的理論模型都只是考慮單批次晶圓加工。