隨著半導體制造工藝的日趨復雜,出現了由多個單集束型裝備通過緩沖模塊連接而成的多集束型裝備。 NCP1654BD65R2G多集束型裝備具有多個單臂或者雙臂機械手,其調度和產能分析比單集束型裝備更加復雜,主要體現在以下幾方面。

   (1)緩沖模塊的耦合效應復雜化了多集束型裝備的調度,每個單集束型裝備的調度不僅影響相鄰的單集束型裝備的調度,而且也影響其他不直接相鄰的單集束型裝備的調度。

   (2)阻塞會從一個單集束型裝備傳播到其他單集束型裝備,導致多集束型裝備的產能分析變得困難。

   (3)緩沖模塊使每個單集束型裝備內的晶圓數日經常發生變化。如果加工過多的晶圓有可能產生死鎖,反之過少的晶圓會使某些加工模塊產生饑餓。本章5.2節研究了單臂機械手的兩集束型裝備調度問題。考慮非零機械手搬運時間,采用分解方法將兩集束型裝備分解為兩個單集束型裝備,建立了調度問題的線性規劃模型;并提出了基于分解方法和線性規劃模型的搜索算法。考慮將52節的分解方法應用到多集束型裝備的調度問題,將面臨著分析機械手避免碰撞條件過于復雜而無法求解的問題,因此要根據多集束型裝各的特點,尋找新的解決方法。與兩集束型裝備的緩沖模塊不同:光刻工藝Track系統的緩沖模塊還具有加工能力,稱為緩沖加I模塊(Buffcr ProccssModtlk,BPM)。緩沖加工模塊使多集束型裝備的結構更加緊湊,節約了設備空間和成本。多集束型裝備的晶圓加工是循環生產過程,每次循環產生庀片類型相同的晶圓,機械手和加工活動再次回到初始狀態,其機械手活動序列稱為庀晶圓周期序列,簡稱庀序列,當=1稱為單序列。針對多集束型裝備調度的庀晶圓周期序列問題,本章5.3節提出了一種構造庀序列的策略和構造算法。