美國Zyvex公司日前表示，目前正在和芯片儀器制造商FEI合作，為納米級的集成電路(IC)的電子探測量提供聯合解決方案。

    根據協議，FEI的檢測設備將采用其離子束分析工具和Zyvex公司納米處理和探測技術；雙方還將共享圍繞該檢測設備的市場營銷、銷售以及應用工程資源。

    Zyvex表示，其NanoWorks產品能夠探測小于100納米的物體，兼容電子顯微鏡(SEM)、聚焦粒子束系統(FIBS)、共焦顯微鏡、探測臺和標準的垂直反轉光學顯微鏡。Zyvex總裁Thomas Cellucci表示：“我們已經在FEI完美的聚焦粒子束系統中集成了Zyvex的納米處理器和探針，我們的客戶將會得到比以前更有效的解決方案。”