MEMS加速度計，它的工作原理就是靠MEMS中可移動部分的慣性。由于中間電容板的質量很大，而且它是一種懸臂構造，當速度變化或者加速度達到足夠大時，它所受到的慣性力超過固定或者支撐它的力，這時候它會移動，它跟上下電容板之間的距離就會變化，上下電容就會因此變化。電容的變化跟加速度成正比。根據不同測量范圍，中間電容板懸臂構造的強度或者彈性系數可以設計得不同。還有如果要測量不同方向的加速度，這個MEMS的結構會有很大的不同。電容的變化會被另外一塊專用芯片轉化成電壓信號，有時還會把這個電壓信號放大。電壓信號在數字化后經過一個數字信號處理過程，在零點和靈敏度校正后輸出。

加速度計還有一個自測試功能。當它剛通電時，邏輯控制會向自測試電路發出命令。自測試電路產生一個直流電壓加載到MEMS芯片的自測試電路板上，中間可活動電容板就會因靜電吸引而下移。接下來的處理過程跟測試真的加速度一樣。

ADSP-TS20xS TigerSHARC®處理器是一款高性能的靜態超標量數字信號處理器，針對醫療健康、國防/航空和通訊基礎設施等應用，該處理器專為大規模信號處理和通信任務在結構上進行了優化。

82945G、BD3450和AC82GM45芯片組產品，將繼續為x86處理器和芯片組提供長期供貨支持。該產品廣泛用于工業和醫療等應用的嵌入式PC產品中。該芯片組與羅徹斯特電子的現有庫存非常匹配，如超過230,000片 Celeron系列和超過500,000片的Pentium系列微處理器。

對于使用x86微處理器作為嵌入式PC產品核心的行業，長期可靠的供貨渠道則顯得至關重要。為了對基于Intel x86的設計提供可持續支持，羅徹斯特電子擁有超過100萬片相關的現貨庫存，其中包括80386、80486、Pentium、Celeron和Xeon微處理器等200多種產品型號。

rpmh以Draper實驗室為代表的研究機構和大學的主要工作在于提升MEMS加速度計的技術指標。能夠提供實用化MEMS加速度計產品的主要廠家有ADI、Silicon Designs、Silicon Sensing、Endevco和瑞士的Colibrys公司。

對角速率敏感的MEMS陀螺儀角速度計受到越來越多的關注。根據性能指標，MEMS陀螺儀同樣可以分為三級：速率級、戰術級和慣性級。速率級陀螺儀可用于消費類電子產品、手機、數碼相機、游戲機和無線鼠標;戰術級陀螺儀適用于工業控制、智能汽車、火車、汽船等領域;慣性級陀螺儀可用于衛星、航空航天的導航、制導和控制。

MEMS陀螺儀角速度計(MEMS gyroscope)，其工作原理是利用角動量守恒原理及科里奧效應測量運動物體的角速率。它主要是一個不停轉動的物體，它的轉軸指向不隨承載它的支架的旋轉而變化。

與加速度計工作原理相似，陀螺儀的上層活動金屬與下層金屬形成電容。當陀螺儀轉動時，他與下面電容板之間的距離機會發生變化，上下電容也就會因此而改變。電容的變化跟角速度成正比，由此我們可以測量當前的角速度。