磁柵尺由磁柵尺、磁頭檢測N330SH26電路組成，利用電磁特性和錄磁原理對位移進行測量。磁柵尺是在非導磁性標尺基礎上采用化學涂敷或電鍍工藝在非磁性標尺上沉積一層磁性膜（一般10～20ym），在磁性膜上錄制代表一定長度、具有一定波長的方波或正弦波磁軌跡信號。磁頭在磁柵尺上移動讀取磁信號，并轉變成電信號輸入控制電路，最終控制AC伺服電機的運行，通常磁柵尺直接安裝在X,Y，導軌上，它的工作原理與安裝示意如圖11.16和圖11.17所示。
    磁柵尺的優點是制造簡單，安裝方便，穩定性高，量程范圍大。其測量精度高達1～5pLm，一般高精度自動貼片機采用此裝置；貼片重復精度一般為0.02mm。

              
    光柵尺
    該系統同磁柵尺系統相類似，也是由光柵尺、光柵讀數頭與檢測電路組成的。光柵尺在透明玻璃或金屬鏡面上真空沉積鍍膜，利用光刻技術制作均勻密集的條紋（每毫米100～300條條紋），條紋距離相等且平行，光柵讀數頭由指示光柵、光源、透鏡及光敏器件組成。指示光柵有相同密度的條紋。光柵尺根據物理學的莫爾條紋形成原理進行位移測量，測量精度高，一般為0.1～1Um。光柵尺在高精度貼片機中應用，其定位精度比磁柵尺還要高1～2個數量級。
    西門子貼片機最早采用光柵尺-AC伺服電動機系統，但裝有光柵尺的貼片機對環境要求比較高，特別是需要防塵，塵埃落在光尺上將會引起貼片機出故障。
    總之，上述三種測量方法均能獲得很高的運動定位精度，但僅能對單軸向運動位置的偏差進行檢測，而對導軌的變形、彎曲等因素造成的正交或旋轉誤差卻無能為力。例如，圖11.11中最新的貼片機在X, y導軌土裝有冷卻系統，可以有效地防止導軌的熱變形。