靜電放電對電子工業的危害
發布時間:2012/10/15 20:14:36 訪問次數:898
在電子工業中,摩擦起電和人體帶電OV7720常有發生,電子產品在生產、包裝運輸及裝聯成整機的加工、調試、檢測,難免受到外界或自身的接觸摩擦而形成很高的表面電位。如果操作者不采取靜電防護措施,入體靜電電位可高達1.5~3kV。因此無論是摩擦起電還是人體靜電均會對靜電敏感電子器件造成損壞。根據靜電的力學和放電效應,其靜電損壞大體上分為兩類,這就是由靜電引起的浮塵埃的吸附以及由靜電放電引起的敏感元器件的擊穿。
靜電吸附
在半導體和半導體器件制造過程廣泛采用Si02及高分子物質的材料,由于它們的高絕緣性,在生產過程中易積聚很高的靜電,并易吸附空氣中的帶電微粒導致半導體介面擊穿、失效。表17.1是日本岡田孝夫等人對半導體制造工序中物體所帶靜電的實測結果。表17.1半導體制造工序中的靜電帶電
從表17.1可見,生產中各物體所帶靜電位是非常高的。由于靜電的力學效應會使車間的浮游塵埃被吸附于半導體芯片上,灰塵也可能附著、積存于芯片以外的物體上,即使極少量的、線度很小的灰塵粒子附著在芯片上也會嚴重影響半導體成品的質量和成品率。
為了防止靜電危害,半導體和半導體器件的制造必須在潔凈室內進行。如安裝除塵效率極高的過濾器,同時潔凈室的墻壁、天花板、地板等均應采用防靜電的不起塵材料和操作人員及一切工具、器具均應采取防靜電措施。
靜電對印制板組件和元器件的靜電吸附表現為吸附灰塵、雜物和潮氣,改變線路之間的阻抗,影響絕緣性、安全性、直接影響組件的功能和壽命。
在電子工業中,摩擦起電和人體帶電OV7720常有發生,電子產品在生產、包裝運輸及裝聯成整機的加工、調試、檢測,難免受到外界或自身的接觸摩擦而形成很高的表面電位。如果操作者不采取靜電防護措施,入體靜電電位可高達1.5~3kV。因此無論是摩擦起電還是人體靜電均會對靜電敏感電子器件造成損壞。根據靜電的力學和放電效應,其靜電損壞大體上分為兩類,這就是由靜電引起的浮塵埃的吸附以及由靜電放電引起的敏感元器件的擊穿。
靜電吸附
在半導體和半導體器件制造過程廣泛采用Si02及高分子物質的材料,由于它們的高絕緣性,在生產過程中易積聚很高的靜電,并易吸附空氣中的帶電微粒導致半導體介面擊穿、失效。表17.1是日本岡田孝夫等人對半導體制造工序中物體所帶靜電的實測結果。表17.1半導體制造工序中的靜電帶電
從表17.1可見,生產中各物體所帶靜電位是非常高的。由于靜電的力學效應會使車間的浮游塵埃被吸附于半導體芯片上,灰塵也可能附著、積存于芯片以外的物體上,即使極少量的、線度很小的灰塵粒子附著在芯片上也會嚴重影響半導體成品的質量和成品率。
為了防止靜電危害,半導體和半導體器件的制造必須在潔凈室內進行。如安裝除塵效率極高的過濾器,同時潔凈室的墻壁、天花板、地板等均應采用防靜電的不起塵材料和操作人員及一切工具、器具均應采取防靜電措施。
靜電對印制板組件和元器件的靜電吸附表現為吸附灰塵、雜物和潮氣,改變線路之間的阻抗,影響絕緣性、安全性、直接影響組件的功能和壽命。
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