但是電荷放大器體積大、成本高，而且電纜振動和彎曲時會有電噪聲影響，所以NB100LVEP17MNG近年來內置電路壓電(Integrated Circuits Piezoelectric，ICP)加速度傳感器得到迅速發展。ICP傳感器內部雖然集成了電荷放大電路，但是體積比傳統的壓電傳感器增加很少。這種傳感器需要恒流源（通常為4mA）激勵。輸出信號的電壓就與振動的加速度成正比關系。激勵和輸出信號用一根同軸電纜連接就可以，最好采用低噪聲電纜。ICP傳感器的靈敏度用輸出電壓與所測量的加速度之比表示，單位是V／(m]s2)，即伏特每米秒方。工程上也常用mV/g為單位，“g”就是大家熟知的重力加速度，所以兩種單位的換算也很簡單。

   ICP傳感器通常有很高的直流分量，使振動信號的中心倔離零均值線。直流分量對振動測試沒有意義，可以在軟件中消除，也可以在一些高檔數據采集卡中消除。例如，NI-4472數據采集卡設置為交流耦合( Coupling-AC)時，不僅可以為ICP傳感器提供4mA電流激勵，還可以消除ICP傳感器的直流分量。

   壓電加速度傳感器在工業現場安裝方式主要是用鋼制雙頭螺栓或尼龍螺栓，這兩種方式安裝牢固、拆卸方便、頻率特性好，后者還可以實現傳感器與設備絕緣；壓電加速度傳感器在實驗室應用也常采用磁座安裝，可以隨時移動，但是只適用于1～2k Hz頻率振動的測試；壓電加速度傳感器用于一些手持儀器時可以用按住使用，僅適用于lk Hz以下的頻率。