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作為上海市最大的集成電路產業投資項目，華力12英寸先進生產線總投資387億元人民幣，計劃于2022年底建成月產能4萬片的12英寸集成電路芯片生產線。

昨天，在浦東新區康橋工業園南區，由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目（以下簡稱“華虹六廠”）實現首臺工藝設備——光刻機搬入，標志著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。

在上海就能生產28納米芯片

華力12英寸集成電路項目搬入首臺設備。文匯報 圖

作為上海市最大的集成電路產業投資項目，華力12英寸先進生產線總投資387億元人民幣，計劃于2022年底建成月產能4萬片的12英寸集成電路芯片生產線。

集成電路技術進步，一般用芯片集成度和微細加工精度兩個指標來衡量。芯片集成度，指單一芯片中所含有的晶體管數量。晶圓尺寸從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已發展到目前的12英寸，并且18英寸也開始處于研發階段。從目前全球晶圓廠產能情況來看，12英寸生產線主要生產高性能產品，工藝技術更加先進，是目前的主流建設方向。行業知名咨詢機構IC Insights（集成電路觀察）分析認為，截至2016年底，300毫米（12英寸）晶圓占全球晶圓廠產能的63．6％，預計到2021年底將達到71．2％，其年均復合增長率為8．1％。

華力12英寸先進生產線工藝覆蓋28—14納米技術節點。目前，世界集成電路生產水平最高已達到7納米，主流生產線的技術水平為28—14納米，中國大陸集成電路企業生產工藝水平最高為28納米。華虹集團此前已擁有一條全自動的12英寸芯片生產線，目前主要采取的是55—28納米技術。相比第一條12英寸生產線，此次項目在技術工藝和產能兩方面都有所提升。

“中國大陸28納米芯片的產能非常少，未來4萬片月產能建成后，我國28納米芯片的產能將提升一倍。到時候，我們使用的高端芯片將有一部分來自國產，在上海就能生產28納米芯片，這對于我國集成電路產業發展意義深遠。”上海華力微電子有限公司總裁雷海波說，28納米芯片的應用領域非常廣泛，比如手機通信、物聯網、人工智能領域的高端芯片。該項目主要從事邏輯芯片生產，在這一技術基礎上，可以開發出射頻、高壓、嵌入式存儲器類芯片等許多產品，重點服務國內設計企業先進芯片的制造，并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。

工藝設備搬入儀式現場。圖片來自網絡

大陸最先進的浸沒式光刻機

此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

光刻機是芯片制造的核心設備之一，按照用途可以分為，用于生產芯片的光刻機、用于封裝的光刻機和用于LED制造領域的投影光刻機。在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學方法顯影，從而得到刻在硅片上的電路圖。簡單地說，就是將芯片設計的圖形從掩模版上“轉移”到涂在硅片表面的光刻膠上。

華力12英寸先進生產線建設項目首臺工藝設備的搬入，標志著將康橋工業園南區打造為上海集成電路產業發展新基地取得了階段性勝利，這對上海市落實《國家集成電路產業發展推進綱要》，同時對上海建設先進制造業的產業集群高地，打響“上海制造”品牌有著重要意義。未來五個月內，華虹六廠工藝設備將集中搬入，其中也包括一些國產設備，今年底前將完成生產線串線并實現試流片，預計月產能達到1萬片。

進入全球集成電路產業陣營前列

“有點激動，也有點感動。”華虹集團黨委書記、董事長張素心說，自2016年12月30日開工以來，廣大建設者克服連綿陰雨、持續高溫等不利因素，實施立體和錯時施工。經過約一年半的努力，每天工作12小時以上，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，比原計劃進度提前1個半月。

項目建成后，華虹集團將成為擁有覆蓋從0．5微米到14納米各工藝節點的大型集成電路制造產業集團，在產業規模和工藝技術上進入全球集成電路產業陣營的前列。該項目已被列入國家《“十三五”集成電路產業重大生產力布局規劃》，是國家“910工程”的子項目之一，也是“十三五”期間上海市重大產業項目和上海市重大工程，并實現了當年立項當年開工。

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