IDT的固態質量流量傳感器模塊采用熱傳輸（測熱）原理，用于測量流經感測表面的氣體或液體流量。這種微型流量傳感器采用一系列 MEMS 熱電偶，具有出色的信噪比。憑借固態熱隔離式有源 MEMS 感測元件和硅化碳薄膜涂層，IDT 流量傳感器實現了出色的耐磨性能和長期可靠性。
IDT 推出一種非校準型毫伏輸出或全校準、線性化版本，用于液體或氣體，其典型精確度低至讀數的 2%。
特性測量氣體或液體流量 MEMS 熱電堆檢測 MEMS 流量傳感器上采用碳化硅涂層 可靠的固態隔離技術 MEMS 元件中無空腔，不會造成堵塞 抗振動、抗壓力沖擊 高精度，高度靈敏 響應時間快 易于清潔和滅菌 3 VDC至 5 VDC電源選擇 食品級版本
應用
工業過程 保健 醫療設備 汽車系統
