精度：0-5%FS（23°C）
分辨率：0.1 Sccm（當流速是400sccm /640ms時）
0.0143（1/70）Sccm（當流速是10sccm /640ms時）
最小感知流量：標準值為0.0143（1/70）Sccm；最大值為0.003 Sccm
壓力損耗：120Pa
重復性：0.0025%FS，0.025%m.v
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精度：3.0%m.v（em1nl）
流量范圍：EM1NH 0-0.05
em1nl 0-0.5
誤差：EM1NH〈0.5%FS
em1nl〈0.1%FS
測量氣體：N2
零刻度的溫度系數：0.01 %FS/°C
壓力系數：0.15%bar-0.01%psi
滿量程壓力損耗： 2/0.029
靈敏度校準：0.1%FS