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G2R-2-5V 是最新的、低重力加速度雙軸表面微機械加工的加速度計，以模擬量和脈寬調制數字量2種方式輸出，并具有極低的功耗和噪音。表面微機械加工使加速度傳感器、信號處理電路高度集成于一個硅片上。和所有加速度計一樣，傳感器單元是差動電容器，其輸出與加速度成比例。加速度計的性能依賴于傳感器的結構設計。差動電容是由懸臂梁構成，而懸臂梁是由很多相間分布的指狀電容電極副構成，一副指狀電容電極可簡化為圖1所示的結構。每個指狀電極的電容正比例于固定電極和移動電極之間的重疊面積以及移動電極的位移。顯然，這些都是很小的電容器，并且，為了降低噪聲和提高分辨力，實際上需要盡可能大的差動電容。