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質檢儀工作原理的檢測方案

發布時間:2008/12/26 0:00:00 訪問次數:398

  生物顯微鏡整機性能檢測中,前三項實質是測量顯微鏡物鏡、轉換器組件、棱鏡組件的機械軸與顯微鏡光學系統光軸的幾何量偏移。質檢儀采用光電傳感器將這些偏移通過光信號變化轉換為電信號變化,然后將電信號放大、處理在儀器上顯示出來,把檢測值與標準的允差作比較,則可作為產品質量的判斷依據。

  在整機檢測粗微動滑板移動方向、聚光鏡滑板移動方向與儀器光軸平行度偏差時,實質是測這兩種滑板在運動過程中與顯微鏡光學系統光軸的偏移量。由于是動態測量,因離焦使光電接收器與光孔像面不能嚴格重合,因而給測量帶來變值系統誤差。要消除這種誤差必須加入遠心光路。利用電子計算機對遠心光路進行數值計算,并通過研制遠心物鏡來實現。

  現以第一項,即物鏡光軸對物鏡螺紋軸線之同軸度(≤φ0.03 mm)的檢測為例介紹質檢儀工作原理。

  圖1 檢測系統方框圖

  歡迎轉載,信息來源維庫電子市場網(www.dzsc.com)



  生物顯微鏡整機性能檢測中,前三項實質是測量顯微鏡物鏡、轉換器組件、棱鏡組件的機械軸與顯微鏡光學系統光軸的幾何量偏移。質檢儀采用光電傳感器將這些偏移通過光信號變化轉換為電信號變化,然后將電信號放大、處理在儀器上顯示出來,把檢測值與標準的允差作比較,則可作為產品質量的判斷依據。

  在整機檢測粗微動滑板移動方向、聚光鏡滑板移動方向與儀器光軸平行度偏差時,實質是測這兩種滑板在運動過程中與顯微鏡光學系統光軸的偏移量。由于是動態測量,因離焦使光電接收器與光孔像面不能嚴格重合,因而給測量帶來變值系統誤差。要消除這種誤差必須加入遠心光路。利用電子計算機對遠心光路進行數值計算,并通過研制遠心物鏡來實現。

  現以第一項,即物鏡光軸對物鏡螺紋軸線之同軸度(≤φ0.03 mm)的檢測為例介紹質檢儀工作原理。

  圖1 檢測系統方框圖

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