ev集團(evg)作為微電子機械系統、納米技術和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設備的供應商主導，近日在奧地利圣弗洛里安宣布推出evg®7200 lasmartnil™系統，用于需要大面積基板的顯示器制造及其他應用。該自動化uv納米壓印技術(uv-nil)系統利用了evg專有的smartnil技術，可以在大批量制造應用上實現具有成本效益的納米圖案化。evg7200 la專為第二代（370毫米x470毫米）顯示器面板制造設計，但同時可以滿足一系列生物技術應用、光子學應用和光學應用的需要。由evg7200 la支持的壓印圖案和設備舉例如下：能夠實現更大清晰度和更低功耗的金屬光柵偏振器、用于直視型3d屏幕的柱狀透鏡以及其他能實現新功能和新規格的功能路面。

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納米壓印(nil)是一種能夠實現大面積納米級圖案化的非常劃算的方式，因為它不受限于光刻所需的尖端光學技術，并且，它能夠為極小（低于100納米）的結構實現圖案的最佳保真度。在當前的納米壓印系統生產中，evg擁有最大的安裝基礎，并且，evg不斷擴展其納米壓印解決方案的功能，以滿足新興市場的需求和技術要求。最新加入evg的納米壓印產品組合evg7200 la通過在顯示器面板尺寸基板上實現高品質納米圖案化，將納米壓印技術帶上了一個全新的高度。因此，基于納米技術、能夠提高設備性能的新結構現在可用于顯示器制造和其他高要求的大面積應用中。

evg®7200 la smartnil™系統為納米壓印及其他需要大面積基板應用的顯示器制造帶來高分辨率和低成本的優勢。

ev集團（evg）的企業技術總監thomas glinsner博士說：“ev集團的納米壓印技術市場以及技術領導地位建立在與多個市場的合作伙伴和客戶合作所累積的多年現場經驗上，以及在我們的演示實驗室和納米壓印光子技術支持中心的研究和開發工作上。”“受顧客需求的推動，我們將強大的智能納米壓印技術用于大批量制造中，該技術已經在直徑200毫米的基板上取得了杰出的壓印成果，并且規模已擴大到了第二代的面板尺寸。擁有了evg7200 la技術，現在我們可以為顯示器市場提供一個整體的圖案化解決方案，在該市場中很多公司并沒有預先考慮把納米壓印技術作為他們生產方面努力的方向。”

evg7200 la技術以evg智能納米壓印技術為一大特色，它結合多功能軟壓印工作技術，適用于不均勻的粗糙表面，從而提供無與倫比的具有高度均勻性和圖案保真度的共形印刻（下至40nm）。這種性能對成功制造金屬光柵偏振器尤其重要，因為在其制造過程中需要將圖案轉移到金屬層，并且設備特性的臨界尺寸需要降至100nm以下。此外，結合自動化低力驅動的脫離技術，智能納米壓印的軟壓印制造工藝延長了主要印章的使用壽命，從而為消費者節約了大量的成本。http://hangson168.51dzw.com/

evg7200 la智能納米壓印系統會在位于奧地利圣弗洛里安的evg總部加以展示。