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以如何使低介電材料(Low-k),不因電子束的照射導致縮小、變形為例,一般分析業者不外乎減少電子束照射能量與提升樣品強度兩樣方式,而泛銓研發團隊擁有獨步全球的技術,制備低介質材料樣品的收縮比例達到業界最好;此外, 較軟的材質「光阻」也是業界在分析上相當棘手的材料,特別在最先進的半導體技術上。 半導體制程進到7納米之后,極紫外光(EUV)光刻微影是關鍵技術,但曝光光阻可能產生的缺陷是需要克服的問題,泛銓領先世界發展的檢測光阻缺陷技術,能在不損傷光阻材料情況下制備出完整樣品,以便于分析曝光缺陷和制程問題, 協助半導體廠改良制程。
為妥善保全客戶的數據,泛銓特別增設信息長職務以及營運保全處(BOSD),并規劃滴水不漏的資安流程,嚴格執行,獲得重要客戶認同。 泛銓實驗室無論客戶或員工,甚至泛銓董事長、總經理及副總等一線主管,進出實驗室均需檢查背包物品,相機、筆電及手機鏡頭貼上保密貼。 實驗室內多數區域列為嚴管禁地,只有被授權人員才能進出。
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ACB2012M-150-TACB1608H-060-TACB2012M-080-TACB1608H-300-TACB1608M-080-TACB1608M-040-T