反射衍射法是利用試件棱緣和反射鏡構成的狹縫實現衍射測量。圖7 -23所示為反射衍射法的原理圖，狹縫由棱緣A與反射鏡組成。 IRF1018EPBF反射鏡的作用是用來形成A的像A 7。這時，相當于光柬以i角入射，縫寬為26的單縫衍射。顯然，若在P處出現第尼級暗紋，則光程差滿足下列條件：

   激光對平面反射鏡的入射角；p為光線的衍射角；6為試件邊緣A和反射鏡之間的距離；2bsin/為光線射到邊緣前，在A與A’處的光程差，2bsin(/ -∞是A與Ar處，兩條衍射光線在衍射角為口的P點的光程差，此時應為負值。

   將上式展開進行三角運算得到

   2b(cos/sin0+2sin/ sin2導=從    (7-12)

   (1)由于反射效應，測量6的靈敏度可以提高一倍；

    (2)i角一般是任意的，測得某一入射角i位置的兩個Xk值代入上式，解出6值。

   反射衍射技術主要應用在表面質量評價、直線性測定、間隙測定等方面。

   圖7 -24所示為反射衍射法測量的實例，圖7- 24(a)是利用標準的刃邊評價工件的表面質量；圖7 - 24(b)是利用反射衍射的方法測定計算機磁盤系統的間隙；圖7-24(c)是利用標準的反射鏡面（如水銀面、液面等）測定工件的直線性偏差。

   從以上實例可見，利用反射衍射法進行測量易于實現檢測自動化，對生產線上的零件自動檢測有重要的實用價值，其檢測靈敏度可達2.5一0. 025 Um。