對于平直度測量也是符合布萊恩原則
發布時間:2015/5/23 20:56:23 訪問次數:1519
圖2 - 31所示為y-z兩坐標測量機結構囹。對于z軸,激光干涉儀軸線的延長線通過測端17的中心。對于y軸,雖然),F85226AF方向激光干涉儀軸線的延長線并不通過測端的中心,但y方向上有上下兩個激光干涉儀7和9,這兩個干涉儀的讀數差用來作為伺服輸入信號,去驅動支撐在y向工作臺一端的壓電晶體16,校正了滑塊14在移動過程中可能產生的傾斜,即消除了y向工作臺的角運動。因此從整體看,兩個方向都符合布萊恩建議(阿貝原則),區別是石方向布置在一條直線上,y方向采取消除工作臺角運動的影響的方法。
對于平直度測量也是符合布萊恩原則的,平直度測量簡圖如圖2 -32所示,用測端測工件的直線性ff,為了消除z方向滑塊在移動過程中由于導軌的非直線性所引起傾斜而帶來的誤差,設置了由標準直尺和測微表組成的平直度測量系統。在這里布萊恩原則主
要有兩點。第一,滑塊沒有角運動,若滑塊只作左右平移,則因平移而引起的測微表的位移量和測端的位移量是相同的,因此根據測微表的位移量來修正測量結果后,就消除了因滑塊左右平移造成的測量誤差。第二,如滑塊在移動過程中有角運動,那么設計應滿足“平直度測量系統的工作點,應當位于垂直于滑板移動方向的、并通過被測的平直度的作用點的方向線上”的要求。在囹2 -32(a)中,就應使該測微表和測球中心的連線垂直于滑塊的運動方向,因為只有這樣布置時,當滑塊有不大的轉角時,測端的位移量與測微表的位移量才相等。這點可很容易地從圖2 -32(b)中得到證明,當滑塊繞D點有一不大的轉角時,只有A點的位移量與Ao點的位移量近似相等,而A.和A2點的位移均不等于Ao點的位移。因此在滑塊有轉角時,用測微表的位移量來修正測量結果后,滑塊的角運動也不會引起測量誤差。
上述介紹的幾種補償阿貝誤差的方法,可以說對儀器設計都不同程度地帶來一定的難度和總體的復雜性。因此,有條件、有可能的話,盡量從結構布置上或從工藝上來減少阿貝誤差(實質是減少標準量的讀數線和被測量的測量線之間的距離,以及提高導軌的運動精度),這樣可減少儀器設計的復雜性,同時也給調整帶來很大的方便。
圖2 - 31所示為y-z兩坐標測量機結構囹。對于z軸,激光干涉儀軸線的延長線通過測端17的中心。對于y軸,雖然),F85226AF方向激光干涉儀軸線的延長線并不通過測端的中心,但y方向上有上下兩個激光干涉儀7和9,這兩個干涉儀的讀數差用來作為伺服輸入信號,去驅動支撐在y向工作臺一端的壓電晶體16,校正了滑塊14在移動過程中可能產生的傾斜,即消除了y向工作臺的角運動。因此從整體看,兩個方向都符合布萊恩建議(阿貝原則),區別是石方向布置在一條直線上,y方向采取消除工作臺角運動的影響的方法。
對于平直度測量也是符合布萊恩原則的,平直度測量簡圖如圖2 -32所示,用測端測工件的直線性ff,為了消除z方向滑塊在移動過程中由于導軌的非直線性所引起傾斜而帶來的誤差,設置了由標準直尺和測微表組成的平直度測量系統。在這里布萊恩原則主
要有兩點。第一,滑塊沒有角運動,若滑塊只作左右平移,則因平移而引起的測微表的位移量和測端的位移量是相同的,因此根據測微表的位移量來修正測量結果后,就消除了因滑塊左右平移造成的測量誤差。第二,如滑塊在移動過程中有角運動,那么設計應滿足“平直度測量系統的工作點,應當位于垂直于滑板移動方向的、并通過被測的平直度的作用點的方向線上”的要求。在囹2 -32(a)中,就應使該測微表和測球中心的連線垂直于滑塊的運動方向,因為只有這樣布置時,當滑塊有不大的轉角時,測端的位移量與測微表的位移量才相等。這點可很容易地從圖2 -32(b)中得到證明,當滑塊繞D點有一不大的轉角時,只有A點的位移量與Ao點的位移量近似相等,而A.和A2點的位移均不等于Ao點的位移。因此在滑塊有轉角時,用測微表的位移量來修正測量結果后,滑塊的角運動也不會引起測量誤差。
上述介紹的幾種補償阿貝誤差的方法,可以說對儀器設計都不同程度地帶來一定的難度和總體的復雜性。因此,有條件、有可能的話,盡量從結構布置上或從工藝上來減少阿貝誤差(實質是減少標準量的讀數線和被測量的測量線之間的距離,以及提高導軌的運動精度),這樣可減少儀器設計的復雜性,同時也給調整帶來很大的方便。
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