微觀技術在公眾的感覺中意味著“小”，在科學中是指十億分之一。因此，特征圖AD8185ARU形尺寸和柵條的寬度以微米( micrometer)來表示，如0.018 ym。納米(1×10』m)正在被廣泛使用，I：述的柵條寬度則力180 nm（見圖1.17）。1叫。

   在半導體協會的國際技術發展路線圖( ITRS)中，對半導體通向未來納米的道路做了描繪。柵條的寬度到2016年會達到

10 nm或更小。到達這些量級，器件的工作部分僅由幾個原子或分子組成。

   這并不容易實現。隨著器件尺寸變得更小，會有一系列可預見的事情，其優點是更快的運行速度和更高的密度。然而，更小的尺寸要求更潔凈的環境、增加工藝控制、更精密的圖形化設備及更多的事項。

   晶圓的直徑將會達到450 mm以上，工廠的自動化水平也將遍及到機器之間，并且帶有集成的工藝監測系統。更多高水平的工藝將會要求更高產量的晶圓制造廠，這些工廠具有更精密的[藝自動化和工廠管理。，這些大工廠的成本將高達100億美元“1。來自巨大投資的壓力迫使研發和建廠的速度更快。