污染控制的成功與否與確認污染源是息息相關的。許多分析顯示機械設備是最大的微粒污染源。 OP249GS-REEL到20世紀⒇年代為止,設備引發的微粒升至所有污染源的75%~⒇%,但這并不意味機械設備變得越來越臟。由于對空氣、化學品與生產人員污染的控制越來越先進,使得設備變為污染控制的焦點。

   超凈閭的等級劃分

   普通的空氣中含有大量微粒或浮塵等污染物,只有經過處理后才能進入超凈間。超凈間的潔凈度是由空氣中微粒的大小和微粒的含量來決定的。通過天花板的HEPA過濾器實現空氣過濾,并從地板上回收空氣,保持持續的潔凈空氣流。

   按照國際慣例,無塵凈化級別主要根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準 的粒子數量來規定。也就是說,所謂無塵并非1OO%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的范圍內。