倒裝芯片的實質是在傳統正裝工藝的基礎上
發布時間:2016/8/5 20:30:02 訪問次數:1318
倒裝芯片的實質是在傳統正裝工藝的基礎上,將芯片的出光區與電極區不設計在同一個平面,此時電極區面朝向封裝燈杯底部進行貼裝,JCY0200出光區為藍寶石襯底面,如果對于薄膜倒裝芯片,則出光面為ll-GaN面。這也可以省掉焊線這一工序,但是對固晶這段工藝的精度要求相對較高。
倒裝芯片結構與正裝芯片結構的對比如圖⒋31所示。
為適應LED芯片的應用,倒裝芯片制造過程中的倒裝技術也在不斷進化改善,芯片的電極結構也有大幅度的變化,其關鍵技術特點如下P1]:
①P,N Pad在爆點采用了大面積多層加厚金屬電極,簡單來講芯片正面只可以看到兩大塊分割開的P,N爆線用電極。
②采用了微電子制造領域中的雙層布線技術。
③雙層布線電極之間采用介質隔離技術。
倒裝芯片的實質是在傳統正裝工藝的基礎上,將芯片的出光區與電極區不設計在同一個平面,此時電極區面朝向封裝燈杯底部進行貼裝,JCY0200出光區為藍寶石襯底面,如果對于薄膜倒裝芯片,則出光面為ll-GaN面。這也可以省掉焊線這一工序,但是對固晶這段工藝的精度要求相對較高。
倒裝芯片結構與正裝芯片結構的對比如圖⒋31所示。
為適應LED芯片的應用,倒裝芯片制造過程中的倒裝技術也在不斷進化改善,芯片的電極結構也有大幅度的變化,其關鍵技術特點如下P1]:
①P,N Pad在爆點采用了大面積多層加厚金屬電極,簡單來講芯片正面只可以看到兩大塊分割開的P,N爆線用電極。
②采用了微電子制造領域中的雙層布線技術。
③雙層布線電極之間采用介質隔離技術。
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