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硅基雙極型npn晶體管芯片制造的主要工藝流程

發布時間:2017/5/6 17:28:12 訪問次數:3633

   集成電路工藝(或稱微電子工藝)狹義上是指在半導體硅片上制造出集成電路或分立器件的芯片結構,這⒛~30個工藝步驟的工作、方法和技術即為芯片制造工藝。 N80C188-20不同的集成電路芯片其制造工藝亦不同,且結構復雜的超大規模集成電路芯片其制造工藝相當繁瑣復雜。不同產品芯片的20~30個工藝步驟中,通常將工作內容近似、工作目標基本相同的單元步驟稱為單項工藝。也就是可以把集成電路工藝分解為多個基本相同的單項工藝,不同產品芯片的制造工藝就是將多個單項工藝按照需要以一定順序進行排列,具體產品制造工藝分解的單項工藝的排列順序稱為該產品的工藝流程。

   雙極型晶體管是集成電路產品中最基本的器件,也是雙極型集成電路的基本單元,它的制造工藝具有代表性。圖02給出了硅基雙極型xlpn晶體管芯片制造的主要工藝流程。

    


   集成電路工藝(或稱微電子工藝)狹義上是指在半導體硅片上制造出集成電路或分立器件的芯片結構,這⒛~30個工藝步驟的工作、方法和技術即為芯片制造工藝。 N80C188-20不同的集成電路芯片其制造工藝亦不同,且結構復雜的超大規模集成電路芯片其制造工藝相當繁瑣復雜。不同產品芯片的20~30個工藝步驟中,通常將工作內容近似、工作目標基本相同的單元步驟稱為單項工藝。也就是可以把集成電路工藝分解為多個基本相同的單項工藝,不同產品芯片的制造工藝就是將多個單項工藝按照需要以一定順序進行排列,具體產品制造工藝分解的單項工藝的排列順序稱為該產品的工藝流程。

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