腐蝕時,如果腐蝕液滲透光刻膠膜的邊緣,會使圖形邊緣受到腐蝕,從而破壞掩蔽擴散的氧化層或鋁條的完整性。若滲透腐蝕較輕,圖形邊緣出現針狀的局部破壞, HAT3008RJ-EL-E習慣上就稱為毛刺;若腐蝕嚴重,圖形邊緣出現“鋸齒狀”或“繡花球”樣的破壞,稱為鉆蝕。當sQ等掩蔽膜窗口存在毛刺和鉆蝕時,擴散后結面就很不平整,影響結特性,甚至造成短路。同時,光刻的分辨率和器件的穩定性、可靠性也會變壞。產生毛刺和鉆蝕的原因有:

    ①基片表面存在污物、油垢、小顆粒或吸附水汽,使光刻膠與氧化層黏附不良,引起毛刺或局部鉆蝕。

   ②氧化層表面存在磷硅玻璃,與光刻膠黏附不好,耐腐蝕性能差,引起鉆蝕。

   ③光刻膠過濾不好,存在顆粒狀物質,造成局部黏附不良。

   ④對于光硬化型光刻膠,曝光不足,顯影時產生溶鉆,腐蝕時造成毛刺或鉆蝕。

   ⑤顯影時間過長,圖形邊緣發生溶鉆,腐蝕時造成鉆蝕。

   ⑥掩膜圖形的黑區邊緣有毛刺狀缺陷。